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LONGITUDINAL AND TRANSVERSE MOMENTS OF THE DISTRIBUTION OF MEV TI IONS IMPLANTED IN SI MEASURED BY SIMS 期刊论文  OAI收割
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 1995, 卷号: 28, 期号: 6, 页码: 1158
WANG, KM; QU, BD; SHI, BR; ZHAI, HY; MA, SJ; XU, TB; ZHU, PR; ZHAO, QT
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2013/09/18