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沉积温度对高功率脉冲磁控溅射AlCrSiN涂层结构和性能的影响 期刊论文  OAI收割
稀有金属材料与工程, 2018, 卷号: 47, 期号: 08, 页码: 2578-2584
作者:  
王铁钢;  李柏松;  张姣姣;  唐宽瑜;  刘艳梅
  |  收藏  |  浏览/下载:68/0  |  提交时间:2018/12/25