机构

• 力学研究所 [1]
• 金属研究所 [1]
• 近代物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2018 [1]
• 2009 [1]
• 1987 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 PECVD硅烷分解法制备硅层基本规律的研究 学位论文  OAI收割 博士, 金属研究所: 中国科学院金属研究所, 2009 程华 收藏  |  浏览/下载：90/0  |  提交时间：2012/04/10 微晶硅薄膜  PECVD  Ar放电  沉积速率  组织结构  结晶状态  薄膜稳定性  电学特性  光学特性   Ar原子光电流效应的研究 期刊论文  OAI收割 量子电子学报, 1987, 期号: 1, 页码: 81 作者:  刘建邦;  史杰荣 收藏  |  浏览/下载：1860/55  |  提交时间：2009/08/03 光电流效应  Ar原子  力学研究所  中国科学院  理论模型  光电流谱  放电电流  激光功率  波长范围