机构

• 大连化学物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]

学科主题

• 物理化学 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Carbonized tantalum catalysts for catalytic chemical vapor deposition of silicon films 期刊论文  OAI收割 thin solid films, 2012, 卷号: 520, 期号: 16, 页码: 5155-5160 作者:  Cheng, Shimin;  Gao, Huiping;  Ren, Tong;  Ying, Pinliang;  Li, Can 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2013/10/11 Silicon  Thin films  Catalytic chemical vapor deposition  Carbonized tantalum  Catalyst ageing  X-ray diffraction  Raman spectroscopy