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苏州纳米技术与纳米仿... [1]
光电技术研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2014 [1]
2013 [1]
学科主题
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Extended range phase-sensitive swept source interferometer for real-time dimensional metrology
期刊论文
OAI收割
OPTICS COMMUNICATIONS, 2014, 卷号: 318, 页码: 88-94
作者:
Shen, Yi
;
Ding, Zhihua
;
Yan, Yangzhi
;
Wang, Chuan
;
Yang, Yaliang
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浏览/下载:46/0
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提交时间:2015/07/10
Dimensional metrology
Low coherence interferometry
Phase unwrapping
Swept source
Tactile probing system based on micro-fabricated capacitive sensor
期刊论文
OAI收割
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2013, 卷号: 194, 期号: 0, 页码: 128-134
作者:
Zhang, T(张珽)
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2014/01/15
Dimensional metrology
Tactile probing system
Capacitive sensor
MEMS