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金属研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2007 [1]
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Raman spectroscopy of a-C : H : N films deposited using ECR-CVD with mixed gas
期刊论文
OAI收割
Applied Surface Science, 2007, 卷号: 253, 期号: 16, 页码: 6957-6962
F. X. Liu
;
K. L. Yao
;
Z. L. Liu
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提交时间:2012/04/13
a-C : H : N
Raman spectroscopy
G peak dispersion
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diamond-like carbon
chemical-vapor-deposition
amorphous-carbon
tribological properties
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thin-films
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nitride
ultraviolet
spectra