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• 上海微系统与信息技术... [2]
• 金属研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2016 [1]
• 2009 [1]
• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 响应面方法的硅刻蚀工艺优化分析 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2016, 卷号: 28.0, 期号: 006, 页码: 064109-1 作者:  Fu Wenting;  Liang Qiao;  Cui Kefu;  Shi Tianli;  Zhang Na   |  收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2021/02/02 KOH各向异性  响应面分析方法  刻蚀速率  传感器   柠檬酸协助的Y_2O_3包覆LiNi_(1/3)Co_(1/3)Mn_(1/3)O_2材料性能研究 期刊论文  OAI收割 华南师范大学学报(自然科学版), 2009, 期号: S1 刘浩涵; 张建; 张熙贵; 谢晓华; 李佳; 夏保佳 收藏  |  浏览/下载：106/0  |  提交时间：2012/01/06 KOH腐蚀  各向异性  表面粗糙度   基于硅塑性变形的自对准垂直梳齿驱动器的制作工艺研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 池积光   收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/03/06 梳齿驱动  垂直驱动  塑性变形  自对准  KOH各向异性腐蚀