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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 会议论文 [1]

发表日期

• 2009 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制 会议论文  OAI收割 第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 王家畴; 李昕欣; 孙立宁 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/18 MEMS器件 硅基片 集成式定位平台 位移传感器 闭环控制 开环控制 自适应PID控制