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采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2016 [1]
• 2012 [1]
• 2008 [1]

学科主题

• 半导体器件 [1]
• 微电子学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 AFM扫描探针的研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2016 何欢 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/06/03 扫描探针显微镜  AFM探针  MEMS  微悬臂梁  硅针尖   压电驱动MEMS光学扫描镜的研制 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2012, 卷号: 10, 期号: 5 作者:  王敏锐;  李文翔 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2013/01/22 MEMS  光学扫描  微镜  体硅工艺  压电陶瓷  微装配   超薄硅纳米谐振梁的制作及谐振特性的测量 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2008, 期号: 01 夏晓媛; 李昕欣; 王跃林; 李铁; 杨衡; 焦继伟 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS扫描微镜  高速转动  动态形变  光学分辨率