机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2004 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 自对准硅化物工艺研究 期刊论文  OAI收割 微电子学, 2004, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 631-635,639 作者:  万春明;  王大海;  徐秋霞   |  收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2010/05/26 超深亚微米  Cmos器件  自对准硅化物  纳米器件  Ni自对准硅化物