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Highly parallel rigorous simulations of phase-shift masks with a generalized eigen-oscillation spectral element method 期刊论文  OAI收割
JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 2009, 卷号: 8, 期号: 3, 页码: 13
作者:  
Zong, Ke;  Zeng, Xuan;  Ji, Xia;  Cai, Wei
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