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Fabrication of high aspect ratio nanoscale periodic structures by the soft X-ray interference lithography 期刊论文  OAI收割
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2017, 卷号: 170, 页码: 49-53
作者:  Zhao, J;  Wu, YQ;  Xue, CF;  Yang, SM;  Wang, LS
  |  收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2017/12/08