机构

• 新疆理化技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Etching of new phase change material Ti0.5Sb2Te3 by Cl-2/Ar and CF4/Ar inductively coupled plasmas 期刊论文  OAI收割 Applied Surface Science, 2014, 卷号: 311, 期号: 8, 页码: 68-73 作者:  Zhang, Zhonghua;  Song, Sannian;  Song, Zhitang;  Cheng, Yan;  Zhu, Min 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2014/11/11 Phase change material  Ti-Sb-Te  Etching  ICP