机构

• 近代物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2009 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 真空室内表面镀TiZrV抽气层的性能研究 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术学报;Journal of Vacuum Science and Technology, 2009, 卷号: 2009, 期号: 06, 页码: 678-681 作者:  马向利;  胡振军;  郭迪周;  侯生军;  蒙峻   |  收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2010/10/29 直流磁控溅射  Tizrv抽气层  低温激活  压力分布