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一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2007, 期号: 05
王育才; 焦继伟; 段飞; 张颖; 宓斌玮; 李金鹏; 钱清; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:36/0  |  提交时间:2012/01/06