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机构
长春光学精密机械与物... [1]
微电子研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2007 [1]
1998 [1]
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高线密度X射线透射光栅的制作工艺
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2007, 卷号: 28, 期号: 12, 页码: 5,2006_2010
作者:
陈宝钦
;
叶甜春
;
赵珉
;
姜骥
;
张庆钊
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正入射软X射线显微成像研究
期刊论文
OAI收割
光电子·激光, 1998, 期号: 02, 页码: 74
作者:
陈星旦
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