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一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感器 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2007, 期号: 10
徐玮鹤; 车录锋; 李玉芳; 熊斌; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2012/01/06