机构

• 半导体研究所 [1]
• 兰州化学物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2021 [1]
• 2002 [1]

学科主题

• 半导体物理 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 Design of low-friction and anti-corrosion a-C:H:SiOx films 期刊论文  OAI收割 Diamond & Related Mate, 2021, 期号: 118, 页码: 108512 作者:  Pingmei Yin;  Xubing Wei;  Lunlin Shang;  Zhibin Lu;  Guangan Zhang   |  收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2021/12/03 PACVD  a-C:H:SiOx film  Low-friction  Anti-corrosion   Microstructure of a-SiOx : H 期刊论文  OAI收割 science in china series a-mathematics physics astronomy, 2002, 卷号: 45, 期号: 10, 页码: 1320-1328 Wang YQ; Liao XB; Diao HW; Cheng WC; Li GH; Chen CY; Zhang SB; Xu YY; Chen WD; Kong GL 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2010/08/12 a-SiOx : H  microstructure  bonding configuration  CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  AMORPHOUS-SILICON  ELECTRONIC-PROPERTIES  SIO2/SI INTERFACE  OXYGEN  FILMS  VIBRATIONS  ALLOYS  SYSTEM