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机构
大连化学物理研究所 [1]
兰州化学物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2004 [2]
学科主题
薄膜材料 [1]
筛选
浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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磁过滤阴极弧等离子体法氮化钛薄膜的制备及其应用性能的研究
学位论文
OAI收割
理学博士: 中国科学院研究生院, 2004
张玉娟
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浏览/下载:66/0
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提交时间:2014/04/14
磁过滤阴极弧
等离子体
高质量薄膜
机械性能
电化学腐蚀性能
应用
机理
TiN
Filtered cathode arc plasma
High quality thin films
Mechanical properties
Electrochemistry corrosion
Application
Mechanism
Deposition of high quality TiN thin films with nano-structure
期刊论文
OAI收割
journal of inorganic materials, 2004, 卷号: 19, 期号: 6, 页码: 1386-1390
作者:
Yan, PX
;
Wu, ZG
;
Xu, JW
;
Zhang, YJ
;
Zhang, WW
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浏览/下载:31/0
  |  
提交时间:2015/11/10
TiN
filtered cathode arc plasma
nano-thin films