机构

• 光电技术研究所 [1]
• 上海光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]

学科主题

• 光学工程 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 A Moire-Based Four-Channel Focusing and Leveling Scheme for Projection Lithography 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 4 作者:  Di, Chengliang;  Yan, Wei;  Hu, Song;  Li, Yanli;  Yin, Didi 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2015/07/10 Moire fringes  focusing and leveling  fringe analysis  lithography   调平聚焦伺服控制系统的优化设计 学位论文  OAI收割 作者:  宗永红   |  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅  grating  调平调焦  leveling and focusing  差动像散  differential astigmatism  反馈控制  feedback control  误差分析与校正  error analysis and correction