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自动化研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
学位论文 [1]
发表日期
2008 [1]
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基于PLC的运动控制与过程控制研究
学位论文
OAI收割
工学硕士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2008
李庆涛
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提交时间:2015/09/02
运动控制
过程控制
掩膜版传输
预对准
反渗透膜
膜热消毒
管道热消毒
motion control
process control
mask transport system
pre-alignment
reverse osmosis
membrane hot-disinfection
pipe hot-disinfection