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氮气流量对中频非平衡反应磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响 期刊论文  OAI收割
中国表面工程, 2011, 卷号: 24, 期号: 4, 页码: 7-12
作者:  
李红轩;  周惠娣;  吉利;  陈建敏;  刘晓红
收藏  |  浏览/下载:55/0  |  提交时间:2012/09/24