机构

• 上海光学精密机械研究... [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2007 [2]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种测量光刻机工件台方镜不平度的新方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 4, 页码: 519, 524 何乐; 王向朝; 马明英 收藏  |  浏览/下载：1477/316  |  提交时间：2009/09/18 测量  干涉测量  不平度  方镜  工件台  光刻机  measurement  interferometry  non-flatness  mirror  wafer stage  lithographic tool   一种步进扫描投影光刻机承片台不平度检测新技术 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2007, 卷号: 27, 期号: 7, 页码: 1205, 1210 何乐; 王向朝; 王帆; 施伟杰; 马明英 收藏  |  浏览/下载：710/152  |  提交时间：2009/09/18 测量与计量  measurement and metrology  不平度检测  non-flatness measurement  承片台  wafer chuck  调平调焦  leveling control  最小二乘  least square method  光刻机  lithographic tool