机构

• 兰州化学物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2007 [1]

学科主题

• 材料科学与物理化学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 低能电子束制备硅基纳米薄膜微结构研究 期刊论文  OAI收割 真空, 2007, 卷号: 44, 期号: 6, 页码: 35-38 陈炯枢; 陈学康; 刘相; 刘建喜 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2013/11/01 电子束直写曝光  选择性化学沉积  图案化  electron beam direct- write exposure  selective chemical deposition  patternization