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Influences of substrate bias on the composition and structure of carbon nitride thin films prepared by ECR-plasma assisted pulsed laser deposition 期刊论文  OAI收割
DIAMOND AND RELATED MATERIALS, 2002, 卷号: 11, 页码: 1584-1591
作者:  Ling, H;  Wu, JD;  Sun, J;  Shi, W;  Ying, ZF
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