机构

• 力学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 1996 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：1996     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Self-consistent kinetic modeling of low-pressure inductively coupled radio-frequency discharges 期刊论文  OAI收割 Journal of Applied Physics, 1996, 卷号: 80, 期号: 7, 页码: 3699-3704 作者:  Yang Y;  Wu HM(吴汉明) 收藏  |  浏览/下载：1538/174  |  提交时间：2009/08/03 Electron-Distribution Function  Rf Discharge  Glow-Discharge  Plasma Sources