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  • 半导体材料 [1]
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离子能量和沉积温度对离子束沉积碳膜表面形貌的影响 期刊论文  OAI收割
物理学报, 2001, 卷号: 50, 期号: 7, 页码: 1324
作者:  
杨少延
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2010/11/23