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机构
上海微系统与信息技术... [4]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
学位论文 [4]
发表日期
2007 [2]
2006 [2]
学科主题
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共4条,第1-4条
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内容类型:学位论文
专题:上海微系统与信息技术研究所
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1.3 μm VCSEL结构制作研究
学位论文
OAI收割
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007
谢正生
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浏览/下载:46/0
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提交时间:2012/03/06
垂直腔面发射激光器
气态源分子束外延
金属键合
器件工艺
ZnO 压电薄膜谐振器及BYFO 多铁体研究
学位论文
OAI收割
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007
言智
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浏览/下载:50/0
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提交时间:2012/03/06
ZnO
压电薄膜
生物传感器
BYFO 多铁体
基于MEMS技术的光纤声传感器技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006
许晓昕
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浏览/下载:47/0
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提交时间:2012/03/06
声传感器
光纤传感
MEMS
Pyrex 7740深刻蚀
F-P腔
衍射光栅
长波长垂直腔面发射激光器材料与物理研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
黄占超
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/06
垂直腔面发射激光器
气态源分子束外延
X射线衍射
InGaAsP/InP