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  • 半导体研究所 [1]
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InP衬底表面的H_2/N_2等离子体清洁技术 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 1999, 卷号: 20, 期号: 10, 页码: 941
谭满清; 茅冬生
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2010/11/23