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机构
上海技术物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2012 [1]
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共1条,第1-1条
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专题:上海技术物理研究所
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Annealing-Ambient-Dependent Thermal Stability of Ultrathin AlOxNy Films Grown by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
期刊论文
OAI收割
SCIENCE OF ADVANCED MATERIALS, 2012, 卷号: 4, 期号: 10
作者:
He, G
;
Sun, ZQ
;
Chen, HS
;
Fang, ZB
;
Chen, XS
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提交时间:2013/03/18