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西安光学精密机械研究... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2009 [2]
学科主题
物理电子学 [2]
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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学科主题:物理电子学
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掺氮SiC薄膜制备及其光学特性的研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2009
赵武
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提交时间:2011/10/09
SiC薄膜
SiCN薄膜:HFCVD
光学特性
面阵式激光雷达探测芯片的设计与制作
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2009
作者:
尹飞
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提交时间:2011/10/09
MSM光探测器
GaAs
激光雷达
LP-MOCVD
光刻工艺