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• 自动化研究所 [2]

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• OAI收割 [2]

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• 期刊论文 [2]

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• 2023 [1]
• 2015 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：自动化研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Scheduling a Single-Arm Multi-Cluster Tool With a Condition-Based Cleaning Operation 期刊论文  OAI收割 IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2023, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 1965-1983 作者:  Qinghua Zhu;  Hongpeng Li;  Cong Wang;  Yan Hou   |  收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2023/09/07 Chamber cleaning  multi-cluster tools  scheduling  semiconductor manufacturing   Multiscale modeling and operation of PECVD of thin film solar cells 期刊论文  OAI收割 CHEMICAL ENGINEERING SCIENCE, 2015, 卷号: 136, 页码: 50-61 作者:  Crose, Marquis;  Kwon, Joseph Sang-Il;  Nayhouse, Michael 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/03/30 Process modeling  Process optimization  Plasma-enhanced chemical vapor deposition  Thin film solar cells  Thin film surface morphology  Thin film thickness