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浏览/检索结果: 共252条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 亚微米投影光刻物镜设计及像质补偿研究 学位论文  OAI收割 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022 作者:  杨超   |  收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2022/10/08 光学设计，投影光刻物镜，波像差，像质补偿   高陡度深型非球面中频误差主动平滑关键技术研究 学位论文  OAI收割 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022 作者:  张穗   |  收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2022/06/13 非球面元件  平滑技术  中频误差  光学加工   支撑变形对面形检测精度影响研究 学位论文  OAI收割 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022 作者:  刘绚   |  收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2022/06/17 支撑变形  支撑结构  面形精度  复现性分析   基于紫外压印技术的柱面微透镜阵列制备研究 学位论文  OAI收割 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022 作者:  青建宏   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2022/06/17 柱面微透镜阵列  大矢高  有限元仿真  超精密切削  紫外压印   超精密运动台半实物仿真系统及方法 专利  OAI收割 申请日期: 2021-06-25, 作者:  李庆鑫;  王福东;  赵冰洁;  李子阳;  张华良   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2021/07/17 接近接触式光刻系统中的自动对准技术研究 学位论文  OAI收割 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021 作者:  张绍宇   |  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2021/06/16 接近接触式光刻  光刻对准  图像处理   光刻机 信息时代的制造之王 期刊论文  OAI收割 百科知识, 2020, 期号: 32, 页码: 4-9 作者:  唐燕;  胡松;  何渝   |  收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2021/05/11 光刻机  芯片制造   一种泛光照明模组的晶圆级封装结构及封装方法 专利  OAI收割 专利号: CN110190036A, 申请日期: 2019-08-30, 公开日期: 2019-08-30 作者:  李卫士;  杨超   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2019/12/30 全球光刻机产业发展分析报告 研究报告  OAI收割 2019 作者:  白光祖;  吴新年;  郑玉荣;  靳军宝;  付爽   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2019/12/19 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  赵磊   |  收藏  |  浏览/下载：82/0  |  提交时间：2020/08/24 投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜