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	近场光强分布对四波横向剪切干涉仪波前复原的影响研究学位论文 OAI收割北京: 中国科学院研究生院, 2018 作者: 陈小君 \| 收藏 \| 浏览/下载：158/0 \| 提交时间：2018/05/23 四波横向剪切干涉仪近场光强分布波前复原
	光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究学位论文 OAI收割中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者: 方超 \| 收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2019/09/23 系统波像差光栅横向剪切干涉相位复原算法零级串扰误差重复精度
	光栅剪切干涉波前测量技术研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者: 李杰收藏 \| 浏览/下载：194/0 \| 提交时间：2016/11/28 波前测量横向剪切干涉波前重建光栅元件系统误差
	偏振横向剪切干涉技术研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014 作者: 刘蕾收藏 \| 浏览/下载：30/0 \| 提交时间：2016/11/28 剪切干涉偏振移相双折射
	数字横向剪切干涉仪相移技术期刊论文 OAI收割光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2244-2251 作者: 向阳收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2014/03/07 光学测量波像差相移式干涉仪剪切干涉仪柔性铰链