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浏览/检索结果: 共77条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 光学操控振动在耦合悬臂梁间传递的实验研究 期刊论文  OAI收割 量子电子学报, 2019, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 569 作者:  龚志成;  毛添华;  袁泉;  谌成渝;  付号   |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2020/01/14 基于MEMS悬臂梁的生化检测技术研究 学位论文  OAI收割 博士后, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 李男男 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/06/23 微机械悬臂梁  耦合悬臂梁阵列  表面反应  微流体系统   大行程MEMS面外驱动器的设计与分析 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011 任豪 收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2014/12/11 微机电系统  静电力  面外驱动器  大行程  表面微加工  杠杆原理   在单硅片上单面微加工制作的悬臂梁加速度传感器及方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101968495A, 申请日期: 2011-02-09, 公开日期: 2011-02-09 李昕欣; 王家畴 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2012/01/06 一种基于微机电技术的硅压阻式风速风向传感器 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2008, 2010-12-24 陈德勇; 赵 湛  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/12/24 基于微机械悬臂梁结构的MEMS探测器与传感器 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 杨永亮 收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2012/03/06 微机电系统  微波悬臂梁探针  电热驱动  压阻效应  界面陷阱。   一种湿法腐蚀制作集成压阻SiO2悬臂梁的方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101590997, 申请日期: 2009-12-02, 公开日期: 2009-12-02 李昕欣; 陈滢; 杨永亮 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06 利用单根集成电阻同时实现驱动及自清洗的微机械悬臂梁 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101492150, 申请日期: 2009-07-29, 公开日期: 2009-07-29 于海涛; 李昕欣; 李俊纲; 许鹏程; 杨天天 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/01/06 扭转模态下超薄硅微机械悬臂梁的检测压阻和检测方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101475138, 申请日期: 2009-07-08, 公开日期: 2009-07-08 李昕欣; 夏晓媛 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/01/06 提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101477029, 申请日期: 2009-07-08, 公开日期: 2009-07-08 夏晓媛; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/01/06