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Development of hydrogen-free fully amorphous silicon oxycarbide coating by thermal organometallic chemical vapor deposition technique 期刊论文  OAI收割
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2022, 卷号: 575, 页码: 8
作者:  
Liu, Housheng;  Tariq, Naeem ul Haq;  Han, Rifei;  Liu, Hanhui;  Cui, Xinyu
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