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陶瓷浆料的约束干燥行为和裂纹控制机理
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:
焦岚清
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浏览/下载:117/0
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提交时间:2019/10/31
陶瓷浆料
干燥
基底约束
裂纹
毛细管应力
Ceramic slurries
Drying
Substrate constraint
Cracks
Capillary stress
基于MEMS悬臂梁的生化检测技术研究
学位论文
OAI收割
博士后, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
李男男
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提交时间:2016/06/23
微机械悬臂梁
耦合悬臂梁阵列
表面反应
微流体系统
微悬臂梁生化传感器系统集成与检测
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
廖驹
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提交时间:2016/06/03
MEMS生化传感器
微悬臂梁
频率检测
微流体控制
传感器系统
纳微系统中表面效应的物理力学研究(3)
科普文章
OAI收割
2015
作者:
王柏懿
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提交时间:2016/04/12
基于FPGA的MEMS谐振微悬臂梁生化传感器接口电路
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
柴光飞
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提交时间:2013/04/24
谐振式微悬臂梁
生化传感器
接口电路
锁相环
FPGA
MEMS谐振器的并联电容噪声抑制
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2012, 期号: 5, 页码: 318-322
唐梦
;
冯明
;
程新红
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/02/22
MEMS谐振器
质量传感器
生化检测
电容补偿
频率噪声
与微机电系统工艺兼容的参比电极的制备方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2004-07-21, 2010-12-24
李华清
;
蔡新霞
;
郭增军
;
崔大付
;
饶能高
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2010/12/24
基于微机械悬臂梁结构的MEMS探测器与传感器
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
杨永亮
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提交时间:2012/03/06
微机电系统
微波悬臂梁探针
电热驱动
压阻效应
界面陷阱。
MEMS谐振式微悬臂梁生化传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
甘小华
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2012/03/06
谐振微悬臂梁传感器 闭环接口电路 锁相环 自动增益控制 嵌入式频率读 出电路
MEMS谐振式微悬臂梁生物传感器的接口电路设计和测试
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
包涵菡
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浏览/下载:64/0
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提交时间:2012/03/06
谐振微悬臂梁
闭环系统
锁相环
相位噪声
等精度频率计