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  • 专利 [1]
发表日期
  • 2006 [1]
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三维集成微机械加速度传感器及制作方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN1821787, 申请日期: 2006-08-23, 公开日期: 2006-08-23
李昕欣; 张鲲; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2012/01/06