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上海光学精密机械研究... [4]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
学位论文 [2]
会议论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2015 [4]
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共4条,第1-4条
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发表日期:2015
专题:上海光学精密机械研究所
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光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
吴飞斌
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浏览/下载:72/0
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提交时间:2016/11/28
光刻投影物镜
1xnm节点
波像差原位检测
Ronchi剪切干涉仪
相位提取
数控小工具抛光中频误差控制研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
吉建伟
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2016/11/28
光学加工,计算机控制光学表面成形技术,中频误差,边缘效应
Preliminary Study on the Direct Detection of Phase Coded Signal for Ranging in Ladar
会议论文
OAI收割
conference on unconventional imaging and wavefront sensing
作者:
Cai, Guangyu
;
Sun, Jianfeng
;
Zhang, Ning
;
Li, Guangyuan
;
Zhang, Guo
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2016/11/28
基于光栅色散干涉条纹的菲佐光干涉望远镜共相检测方法研究
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2015, 卷号: 64, 期号: 14, 页码: 149501
作者:
Yan Zhao-Jun
;
Chen Xin-Yang
;
Yang Peng-Qian
;
Zhou Dan
;
Zheng Li-Xin
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2016/11/28