机构

• 微电子研究所 [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 专利 [3]

发表日期

• 2017 [2]
• 2010 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：专利    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 七级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法 专利  OAI收割 专利号: CN201610140991.2, 申请日期: 2017-10-24, 公开日期: 2016-05-04 作者:  韦亚一;  苏晓菁;  董立松;  张利斌   |  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2018/04/24 五级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法 专利  OAI收割 专利号: CN201610140129.1, 申请日期: 2017-10-24, 公开日期: 2016-05-25 作者:  苏晓菁;  董立松;  张利斌;  韦亚一   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2018/04/25 线宽测量方法 专利  OAI收割 专利号: ZL201010500353.X, 申请日期: 2010-09-29, 公开日期: 2015-05-25 作者:  朱慧珑;  尹海洲;  骆志炯   |  收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/05/25