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  • 上海微系统与信息技术... [3]
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硅基带锁止功能的阈值可调加速度开关传感器及制作方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN101303366, 申请日期: 2008-11-12, 公开日期: 2008-11-12
李昕欣; 贾孟军; 王跃林
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一种悬臂梁结构、制作方法及应用 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN101066749, 申请日期: 2007-11-07, 公开日期: 2007-11-07
王跃林; 车录锋; 熊斌; 范克彬
收藏  |  浏览/下载:89/0  |  提交时间:2012/01/06
三维集成微机械加速度传感器及制作方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN1821787, 申请日期: 2006-08-23, 公开日期: 2006-08-23
李昕欣; 张鲲; 王跃林
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