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机构
上海微系统与信息技术... [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
专利 [3]
发表日期
2008 [1]
2007 [1]
2006 [1]
学科主题
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共3条,第1-3条
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内容类型:专利
专题:上海微系统与信息技术研究所
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硅基带锁止功能的阈值可调加速度开关传感器及制作方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN101303366, 申请日期: 2008-11-12, 公开日期: 2008-11-12
李昕欣
;
贾孟军
;
王跃林
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提交时间:2012/01/06
一种悬臂梁结构、制作方法及应用
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN101066749, 申请日期: 2007-11-07, 公开日期: 2007-11-07
王跃林
;
车录锋
;
熊斌
;
范克彬
收藏
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浏览/下载:89/0
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提交时间:2012/01/06
三维集成微机械加速度传感器及制作方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN1821787, 申请日期: 2006-08-23, 公开日期: 2006-08-23
李昕欣
;
张鲲
;
王跃林
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/01/06