中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
微电子研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
专利 [1]
发表日期
2018 [1]
学科主题
筛选
浏览/检索结果:
共1条,第1-1条
帮助
限定条件
内容类型:专利
专题:微电子研究所
第一署名单位
第一作者单位
通讯作者单位
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
一种金属硅化物的形成方法
专利
OAI收割
专利号: US10096691, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2016-09-15
作者:
张青竹
;
赵利川
;
杨雄坤
;
殷华湘
;
闫江
  |  
收藏
  |