机构

• 半导体研究所 [1]
• 沈阳自动化研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [2]

发表日期

• 2020 [2]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2020     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 基于MEMS微悬臂梁结构的单片集成器件研究 学位论文  OAI收割 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020 作者:  王栎皓   |  收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2020/11/24 基于电场辅助的高分辨喷墨打印微纳制造系统研究 学位论文  OAI收割 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2020 作者:  周培林   |  收藏  |  浏览/下载：140/0  |  提交时间：2020/06/27 微纳制造  E-jet打印  微纳器件  跨尺度  增材直写