机构

• 半导体研究所 [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 专利 [1]

发表日期

• 2013 [1]
• 2012 [1]

学科主题

• 微电子学 [3]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 微机电系统（MEMS）器件低温封装方法研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2013 方志强 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/06/24 基于悬臂梁结构的微机电系统器件及其可靠性研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 朱银芳 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/06/27 谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-05-22 钟卫威; 司朝伟; 韩国威; 宁瑾; 杨富华 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2014/11/24