机构

• 微电子研究所 [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2016 [1]
• 2015 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于空间分光的纳米级调焦调平测量技术 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2016 作者:  李世光;  孙裕文   |  收藏  |   高效率X射线光刻在单级光栅研制中的应用 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2015 作者:  谢常青;  朱效立;  施百龄   |  收藏  |