机构

• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 会议论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]

学科主题

• ARM proces... [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：ARM processors - Complex networks - Computer control - Control systems - Design - Embedded systems - Human computer interaction - Intelligent control - Liquid crystal displays - Lithography - Manufacture - Optical devices - Program debugging - Remote control - Touch screens     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Intelligent control system based on ARM for lithography tool 会议论文  OAI收割 Proceedings of SPIE: 7th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Design Manufacturing, and Testing of Micro- and Nano-Optical Devices, and Systems, 2014 作者:  Chen, Changlong;  Tang, Xiaoping;  Hu, Song;  Wang, Nan 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/24