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机构
上海微系统与信息技术... [8]
采集方式
OAI收割 [8]
内容类型
期刊论文 [4]
学位论文 [3]
专利 [1]
发表日期
2006 [8]
学科主题
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共8条,第1-8条
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发表日期:2006
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三维集成微机械加速度传感器及制作方法
专利
OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN1821787, 申请日期: 2006-08-23, 公开日期: 2006-08-23
李昕欣
;
张鲲
;
王跃林
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/01/06
硅微喷阵列芯片的设计、制作与应用研究
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2006, 期号: 04
许宝建
;
乔治
;
金庆辉
;
赵建龙
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/01/06
MEMS加速度传感器
检测电路
分辨力
噪声
圆片级气密封装及通孔垂直互连研究
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2006, 期号: 06
王玉传
;
朱大鹏
;
许薇
;
罗乐
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/01/06
微加速度传感器
封装
有限元模拟
曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2006, 期号: 09
杨尊先
;
李昕欣
;
于映
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/01/06
微/纳机械系统纳米沟道离子束刻蚀
MEMS高量程加速度传感器压膜阻尼效果分析
期刊论文
OAI收割
电子元件与材料, 2006, 期号: 01
杨尊先
;
李昕欣
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/01/06
原子频标
原子钟
微波共振
光学抽运
CPT
AlN压电薄膜制备及铰链式高量程加速度计研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
范克彬
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2012/03/06
AlN薄膜
正交设计
微电子机械系统
压阻式
高量程
MEMS电容式加速度传感器检测电路减噪与微机械谐振器静电自激驱动研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
王俊杰
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2012/03/06
MEMS加速度传感器
噪声
分辨率
谐振器
静电自激驱动
谐振频率
MEMS电容式加速度传感器相关检测技术研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
吴浩
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浏览/下载:110/0
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提交时间:2012/03/06
电容式加速度传感器
等效电学模型
调制解调
力平衡
可靠工作范围