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  • 2006 [8]
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三维集成微机械加速度传感器及制作方法 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN1821787, 申请日期: 2006-08-23, 公开日期: 2006-08-23
李昕欣; 张鲲; 王跃林
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硅微喷阵列芯片的设计、制作与应用研究 期刊论文  OAI收割
微细加工技术, 2006, 期号: 04
许宝建; 乔治; 金庆辉; 赵建龙
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2012/01/06
圆片级气密封装及通孔垂直互连研究 期刊论文  OAI收割
功能材料与器件学报, 2006, 期号: 06
王玉传; 朱大鹏; 许薇; 罗乐
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2012/01/06
曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究 期刊论文  OAI收割
光电工程, 2006, 期号: 09
杨尊先; 李昕欣; 于映
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2012/01/06
MEMS高量程加速度传感器压膜阻尼效果分析 期刊论文  OAI收割
电子元件与材料, 2006, 期号: 01
杨尊先; 李昕欣
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2012/01/06
AlN压电薄膜制备及铰链式高量程加速度计研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2006
范克彬  
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MEMS电容式加速度传感器检测电路减噪与微机械谐振器静电自激驱动研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2006
王俊杰  
收藏  |  浏览/下载:33/0  |  提交时间:2012/03/06
MEMS电容式加速度传感器相关检测技术研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2006
吴浩  
收藏  |  浏览/下载:110/0  |  提交时间:2012/03/06