机构

• 上海微系统与信息技... [10]
• 沈阳自动化研究所 [2]
• 西安光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [13]

内容类型

• 期刊论文 [6]
• 学位论文 [3]
• 专利 [2]
• 会议论文 [1]
• 成果 [1]

发表日期

• 2007 [13]

学科主题

• 机器人控制 [1]
• 自动控制技术 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共13条，第1-10条 帮助 限定条件 发表日期：2007     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 一种悬臂梁结构、制作方法及应用 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101066749, 申请日期: 2007-11-07, 公开日期: 2007-11-07 王跃林; 车录锋; 熊斌; 范克彬 收藏  |  浏览/下载：89/0  |  提交时间：2012/01/06 集成光栅干涉微机械加速度传感器及其制作方法 专利  OAI收割 专利号: CN1987486A, 申请日期: 2007-06-27, 公开日期: 2007-06-27 作者:  叶雄英;  伍康;  周兆英;  王晓浩   |  收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/12/31 “8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文  OAI收割 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007 王育才 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2012/03/06 微加速度计  8悬臂梁-质量块  微机械加工  各向异性腐蚀   基于MEMS的倾角测量仪设计 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: S, 页码: 16-18 作者:  白占元;  徐皑冬   |  收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2010/11/29 Mems  加速度传感器  倾角测量   基于无线传感器网络的工程机械姿态控制系统 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: S, 页码: 342-346 作者:  白占元;  徐皑冬   |  收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/11/29 无线传感器网络  Zigbee  微机电系统  姿态控制   自呼吸式硅微机械氢燃料电池的阳极流场优化 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2007, 期号: 09 郑丹; 倪卫其; 姜伟; 张熙贵; 张鲲; 夏保佳 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06 电容式加速度传感器  硅/硅键合  圆片级真空封装   石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2007, 期号: 01 王俊杰; 车录锋; 吴浩; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/01/06 光学电流传感器  微电子机械系统  扭转微镜  温度补偿  耦合损耗   微型加速度传感器在石油勘探中的应用 成果  OAI收割 鉴定: 无, 2007 未知 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2013/04/12 微电子机械系统(MEMS)传感器在汽车和消费类产品中的应用 会议论文  OAI收割 2007年中国国际表面贴装和微组装技术大会, 2007 Von Janecek,Hubertus 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/18 微电子机械系统 微系统技术 汽车传感器   一种铰链式高量程加速度传感器及其力学性能分析 期刊论文  OAI收割 机械强度, 2007, 期号: 03 卢云; 徐志农; 车录锋 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/01/06 微型质子交换膜燃料电池  硅微机械  阳极流场  燃料利用率  MEMS技术