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  • 2012 [9]
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SOI-MEMS硅微谐振式加速度传感器研究 学位论文  OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
商艳龙
收藏  |  浏览/下载:69/0  |  提交时间:2012/06/07
人体运动跟踪传感器设计与标定技术研究 学位论文  OAI收割
工程硕士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2012
李文明
收藏  |  浏览/下载:64/0  |  提交时间:2015/09/02
新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2012
周晓峰
收藏  |  浏览/下载:118/0  |  提交时间:2013/04/24
三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2012
蔡梅妮
收藏  |  浏览/下载:145/0  |  提交时间:2013/04/24
微机械(MEMS)光纤加速度传感器系统研究 学位论文  OAI收割
博士, 2012
作者:  
索智群
收藏  |  浏览/下载:40/0  |  提交时间:2015/10/15
基于CC1110的无线双轴倾角传感器设计 期刊论文  OAI收割
电子产品世界, 2012, 期号: 11, 页码: 29-31
作者:  
陈喆
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2012/12/28
三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文  OAI收割
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健
收藏  |  浏览/下载:58/0  |  提交时间:2013/02/22
用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文  OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2013/02/22
低温玻璃浆料圆片级真空封装的研究 期刊论文  OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 62-64
王伟; 熊斌; 王跃林; 马颖蕾
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2013/02/22