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上海微系统与信息技术... [5]
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采集方式
OAI收割 [9]
内容类型
学位论文 [5]
期刊论文 [4]
发表日期
2012 [9]
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共9条,第1-9条
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发表日期:2012
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SOI-MEMS硅微谐振式加速度传感器研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
商艳龙
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浏览/下载:69/0
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提交时间:2012/06/07
人体运动跟踪传感器设计与标定技术研究
学位论文
OAI收割
工程硕士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2012
李文明
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浏览/下载:64/0
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提交时间:2015/09/02
惯性跟踪
虚拟现实
人机交互
人体运动跟踪
姿态融合
inertial tracking
virtual reality
gesture fusion
human computer interaction
human motion tracking
新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
周晓峰
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浏览/下载:118/0
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提交时间:2013/04/24
微电子机械系统
加速度传感器
地震检波器
腐蚀自停止
三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
蔡梅妮
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浏览/下载:145/0
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提交时间:2013/04/24
MEMS加速度传感器
吸气剂
器件级真空封装
Q
自停止腐蚀
微机械(MEMS)光纤加速度传感器系统研究
学位论文
OAI收割
博士, 2012
作者:
索智群
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提交时间:2015/10/15
基于CC1110的无线双轴倾角传感器设计
期刊论文
OAI收割
电子产品世界, 2012, 期号: 11, 页码: 29-31
作者:
陈喆
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/12/28
倾角传感器
STC89C52
CC1110
ADXL202
三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮
;
车录锋
;
林友玲
;
周晓峰
;
黎晓林
;
吴健
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浏览/下载:58/0
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提交时间:2013/02/22
三明治式MEMS加速度计
自停止腐蚀工艺
吸气剂
品质因子
器件级真空封装
用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮
;
林友玲
;
车录锋
;
苏荣涛
;
周晓峰
;
黎晓林
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2013/02/22
三明治电容式MEMS加速度传感器
自停止腐蚀
品质因数
器件级真空封装
双面划片
低温玻璃浆料圆片级真空封装的研究
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 62-64
王伟
;
熊斌
;
王跃林
;
马颖蕾
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2013/02/22
微机电系统
玻璃浆料封装
加速度计
真空封装