中国科学院机构知识库网格系统: 检索

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条

帮助

条数/页：排序方式：
	产业与融合:MEMS发展面临的挑战会议论文 OAI收割 2010年第四届微纳米海峡两岸科技暨纳微米系统与加工制备中的力学问题研讨会摘要集, 2010 王跃林收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2012/01/18
	两维碰撞加速度传感器及其实用化会议论文 OAI收割第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 周伟; 刘民; 姜伟; 李昕欣收藏 \| 浏览/下载：11/0 \| 提交时间：2012/01/18 加速度传感器碰撞冲击测量两维碰撞 MEMS加工模块化封装
	微电子机械系统(MEMS)传感器在汽车和消费类产品中的应用会议论文 OAI收割 2007年中国国际表面贴装和微组装技术大会, 2007 Von Janecek,Hubertus 收藏 \| 浏览/下载：11/0 \| 提交时间：2012/01/18 微电子机械系统微系统技术汽车传感器
	硅的电化学深刻蚀技术会议论文 OAI收割第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会, 2005 王连卫; 吴俊徐; 陈瑜收藏 \| 浏览/下载：29/0 \| 提交时间：2012/01/18 硅衬底电化学深刻蚀传感器深反应离子刻蚀阳极氧化微纳米通道
	微电子机械器件中槽板结构压膜空气阻尼的计算会议论文 OAI收割第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 孙远程; 鲍敏杭; 杨恒; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：10/0 \| 提交时间：2012/01/18 压膜空气阻尼槽板结构微电子机械器件雷诺方程